Pyrolytisch boornitride speelt een rol in de halfgeleiderindustrie
Aug 22, 2023
Pyrolytisch boornitride (PBN) heeft vanwege zijn superieure eigenschappen een cruciale rol gespeeld in de halfgeleiderindustrie. PBN is een uitstekende thermische geleider, stabiel bij hoge temperaturen en vertoont een laag diëlektrisch verlies. Deze eigenschappen maken het een ideaal materiaal voor verschillende kritische toepassingen in de halfgeleiderindustrie.
Ten eerste wordt PBN gebruikt bij de productie van epitaxiale wafers. PBN-boten vergemakkelijken de groei van epitaxiale lagen door een stabiel platform voor het substraat te bieden, dat bestand is tegen hoge temperaturen en een schone omgeving handhaaft. PBN vertoont ook een uitstekende thermische stabiliteit en chemische weerstand, waardoor de vervuiling van epitaxiale lagen tijdens de groei wordt verminderd.
Ten tweede wordt PBN gebruikt om siliciumwafels te vervaardigen. PBN-kroezen worden gebruikt voor het smelten en kristalliseren van silicium, het uitgangsmateriaal voor de productie van siliciumwafels. Deze smeltkroezen zijn bestand tegen hoge temperatuurgradiënten en verminderen het risico op besmetting tijdens het smeltproces.
Daarnaast wordt PBN ook gebruikt bij de productie van hoogwaardige transistors. Op PBN gebaseerde substraten bieden een stabiel en schoon platform voor de fabricage van hoogwaardige transistors. PBN-substraten kunnen ook de prestaties van transistors verbeteren door de parasitaire capaciteit te verminderen en de thermische geleidbaarheid te vergroten.
Over het geheel genomen heeft PBN een cruciale rol gespeeld in de ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie. De superieure eigenschappen ervan hebben de productie mogelijk gemaakt van hoogwaardige epitaxiale lagen, siliciumwafels en hoogwaardige transistors. Nu de vraag naar geavanceerde halfgeleiders blijft groeien, zal PBN ongetwijfeld de komende jaren een cruciaal materiaal in de industrie blijven.
